Приёмники оптического изображения
Процесс идет аналогично тому, как
Это пояснено на рис. 11.23, в. Процесс идет аналогично тому, как это происходит в фотодиоде, с той разницей, что сквозному движению носителей заряда препятствует потенциальный барьер на границе диэлектрик — полупроводник. Поэтому в потенциальной яме накапливается заряд Q, который пропорционален интенсивности и времени воздействия света. При увеличении заряда Q в яме поверхностный потенциал уменьшается, как это показано сплошной линией на рис. 11.23, б. Обедненная область схлопывается, а емкость электрод — подложка увеличивается.
Таким образом, в течение промежутка времени, меньшего времени релаксации, МДП (МОП)-конденсатор может служить запоминающим элементом для аналоговой информации. Это прибор динамического типа, а носителем информации в нем является зарядовый пакет, который определяется интегралом от светового потока по времени накопления с учетом разрядки за счет процессов рекомбинации и возможных утечек.
Пусть теперь два МДП-конденсатора, изготовленные на общей подложке с общим диэлектрическим слоем, расположены настолько близко друг к другу, что их обедненные области перекрываются и потенциальные ямы взаимодействуют («связываются»). Тогда подвижный заряд неосновных носителей будет накапливаться в том месте, где выше значение поверхностного потенциала, т. е. где глубже яма. Если изменять потенциал во времени, то заряд будет перетекать в наиболее глубокую часть потенциальной ямы. В этом и состоит идея управляемого переноса заряда от одного электрода к другому. Она проиллюстрирована на рис. 11.24 на примере ставшей классической трехкратной (трехфазной) схемы.
Электроды в ПЗС-фотоприемной матрице располагаются в виде линейки (строки) или матрицы, как показано на рис. 11.24, а. Зазор между электродами 1...2 мкм и менее. Число электродов в линейке обычно 5 • 102...2-103, а в матрице может достигать 106 и более. Электроды изготавливаются из алюминия или поликремния (для улучшения прозрачности). Одна строка от другой в матричном приемнике отделяется узкими областями p+-стоп-канальной диффузии.
